بررسی آثار برخورد یون‌های مختلف بر سطح آلومینیوم با استفاده از دستگاه پلاسمای کانونی نوع مدر با انرژی kJ 5/2

نوع مقاله: مقاله پژوهشی

چکیده

هدف از این تحقیق بررسی اثرات و تغییراتی است که بر اثر برخورد یون‌های مختلف تولیدی توسط دستگاه پلاسمای کانونی SBUPF1 ( 6/8، kV 25، kJ 5/2)  نوع مدر بر روی سطح آلومینیوم به وجود می‌آید. گازهای Ar و H+1%Kr به عنوان گاز عملکردی در دستگاه پلاسمای کانونی استفاده شد. برای به‌دست آوردن بیشینه چگالی یونی، فشار و ولتاژ عملکردی بهینه برای گازAr  به ترتیب mbar 45/0 و kV 22 و برای گاز H+1%Kr به ترتیب برابر mbar 5 و kV 23 تعیین شد. برای تحلیل اثرات به وجود آمده بر روی سطح، از تصاویر SEM و برای آنالیز عنصری نمونه‌ها، از طیف‌نگاری EDX استفاده شد. ذوب‌شدگی، تبخیر سطحی، فرورفتگی‌ها و برجستگی‌ها، به وجود آمدن ترک و شکاف در سطح از جمله اثرات مشاهده شده بر روی سطح آلومینیوم با استفاده از تصاویر SEM می‌باشد. هم‌چنین شدت این اثرات در ارتفاعات مختلف از مکان تولید یون در داخل دستگاه پلاسمای کانونی مورد بررسی قرار گرفت. در آنالیز عنصری نمونه‌های آلومینیوم با استفاده از تکنیک EDX  نفوذ یون‌های مس ناشی از کندو پاش از آند دستگاه در هنگام تشکیل پینچ، به داخل نمونه‌های آلومینیوم مشاهده شد. محاسبات SRIM برای تعیین عمق نفوذ یون‌ها در داخل نمونه‌های آلومینیوم انجام شده است.

کلیدواژه‌ها