سنتز کنترل شده میکروساختارهای دوبعدی منظم در پلاسماهای فعال با چگالی بالا

نوع مقاله: مقاله پژوهشی

چکیده

هدف از این کار، بررسی دینامیک یون‌ها، الکترون‌ها و نانوذرات باردار درون غلاف پلاسمای غباری، به منظور تعیین شرایط مناسب جهت نهشت کنترل شده و گزینشی ذرات پلاسما روی سطح یک زیرلایه طرح‌دار شامل آرایه‌ای ازمیکروساختارهای منظم است. روش مورد استفاده در این مطالعه، شبیه‌سازی عددی معادلات سیالی توصیف کننده دینامیک ذرات پلاسما درون غلاف پلاسمایی است. نتایج به دست آمده نشان می‌دهد، با افزایش چگالی الکترونی میزان کانونی کنندگی میدان الکتریکی نانوساختار بیشتر می‌شود، لذا نانوساختارهای با نسبت نمود بالا تولید می شود. افزایش دمای الکترونی باعث کاهش بار نانوذرات و در نتیجه کاهش شار آن‌ها بر روی نانوساختار می‌شود. با افزایش چگالی تعداد و عدد ماخ نانوذرات، شار فرودی بر‌روی نانوساختارها و به تبع آن آهنگ رشد آن‌ها افزایش می‌یابد. به علاوه شار فرودی با افزایش ارتفاع و دوره تناوب میکروطرح رشد پیدا می‌کند. از یافته‌های حاضر می‌توان نتیجه گرفت که برای رسیدن به آهنگ نهشت بالا و نانوساختارهایی با نسبت نمود بزرگ، باید از یک پلاسمای چگال با دمای پایین و نانوذرات با سرعت فرودی بالا و میکروطرح با دوره تناوب نسبتاً بزرگ استفاده نمود.

کلیدواژه‌ها