تاثیر دمای زیرلایه بر روی خواص نانوساختاری لایه نیترید زیرکونیوم

نوع مقاله: مقاله پژوهشی

چکیده

در این تحقیق تاثیر دمای زیر لایه در محدودهC˚450-100 برخواص ساختاری لایه‌های نیترید زیرکونیوم‌ که به‌روش کندوپاش شعاع یونی روی زیر لایه شیشه وسیلیکون تهیه شده ‌است، مورد ‌بررسی قرار گرفته ‌است. تعین ضخامت لایه‌ها با ‌استفاده از آنالیز RBS (طیف پس پراکندگی رادرفورد)   و‌تعیین فازهای کریستالی با توجه به آنالیز XRD (پراش پرتو X)‌ انجام شده‌است. نتایج XRD  نشان داد که با افزایش دما تا C˚400 بر میزان بلوری شدن فاز نیترات زیرکونیوم افزوده شده ولی در دمای بالاتر، کاهش یافته است. در تمامی دماها جهت [111]‌ فاز نیترات زیرکونیوم جهت ترجیحی است. نتایج RBS  نشان داد که ضخامت لایهZrN در دماهای بالاتر نسبت به دمایC ˚100 افزایش یافته که می تواند به دلیل افزایش تشکیل    مونومر‌های Zr-N  برای تشکیل لایه وافزایش اندازه دانه باشد و نیز کاهش ضخامت در دمای‌‌ ˚C‌450 به افزایش چگالی لایه وکاهش اندازه دانه مربوط است.

کلیدواژه‌ها