ساخت چشمه پلاسمای کاتد داغ برای لایه‌نشانی به روش اسپاترینگ توسط پرتو یون

نوع مقاله: مقاله پژوهشی

چکیده

در این پژوهش یک نمونه چشمه پلاسمای کاتد داغ برای یک چشمه پرتو یون پهن به قطر 5 سانتیمتر طراحی و ساخته شد. این چشمه یون قابل استفاده در لایه‌نشانی به روش کندوپاش است. وضعیت تشکیل پلاسما در خلأ بالا (محدوه 3-10 تا 4-10میلی‌بار) و با اعمال میدان مغناطیسی توسط مجموعه آهنرباهای دائمی مورد مطالعه قرار گرفت. تأثیر پارامترهای کنترلی مختلف مانند فشار کار، پتانسیل تخلیه الکتریکی و جریان چشمه الکترون (رشته تنگستن) بر چگالی پلاسما بررسی گردید. با اعمال ولتاژ تخلیه الکتریکی 57 ولت و میدان مغناطیسی حدود 200 گاؤس و عبور جریان 18 آمپر از رشته کاتد، مقدار بیشینه 130 میلی‌آمپر برای جریان پلاسما در فشار 4-10×2/1 میلی‌بار اندازه‌گیری شد.

کلیدواژه‌ها