%0 Journal Article %T ارزیابی پایداری شیمیایی نانو پوشش کربن شبه الماسی لایه نشانی شده بر زیرلایه پلیمری پلی‌کربنات در برابر استون و هیدروکسید سدیم %J نشریه علوم و مهندسی سطح %I انجمن علوم و تکنولوژی سطح ایران %Z 2008-6717 %A صالحی, مژگان %A اسحاقی, اکبر %A آقایی, عباسعلی %D 2019 %\ 05/22/2019 %V 15 %N 39 %P 1-9 %! ارزیابی پایداری شیمیایی نانو پوشش کربن شبه الماسی لایه نشانی شده بر زیرلایه پلیمری پلی‌کربنات در برابر استون و هیدروکسید سدیم %K لایه نازک %K کربن شبه الماسی %K پایداری شیمیایی %K چسبندگی %K اچینگ پلاسمایی %K پلی‌کربنات %R %X هدف از انجام این تحقیق بررسی پایداری شیمیایی فیلم­ های کربن شبه­ الماسی اعمال شده بر زیرلایه­ های پلی­کربنات می باشد. بدین منظور ابتدا عملیات اچینگ پلاسمایی توسط گازهای آرگون و اکسیژن در زمان­ های مختلف روی سطح پلی­ کربنات انجام شد. سپس تاثیر نوع گاز بر زاویه ترشوندگی و نوع پیوندهای ایجادی بر سطح نمونه­ های اچ شده به ترتیب توسط آزمون اندازه­ گیری زاویه تماس و طیف­ سنجی تبدیل فوریه مادون­ قرمز(ATR-FTIR) بررسی شد. لایه نازک کربن شبه­ الماسی روی سطوح زیرلایه­ های پلی­ کربنات توسط رسوب­ شیمیایی بخار تقویت ­شده به کمک پلاسما با منبع تغذیه فرکانس رادیوئی (RF-PECVD) با فرکانس  MHz56/13 و مخلوط گازی متان و آرگون بر سطوح اچ شده لایه­ نشانی شد. چسبندگی پوشش­ ها توسط آزمون نوار مورد بررسی قرار گرفت. پایداری شیمیایی پوشش در برابر استون و هیدروکسید سدیم ارزیابی شد. نتایج نشان داد عملیات اچینگ پلاسمایی توسط گاز اکسیژن به دلیل تشکیل گروه ­های قطبی روی سطح و کاهش بیشتر زاویه تماس در مقایسه با گاز آرگون، موجب افزایش چسبندگی پوشش به زیرلایه شده است. بررسی طیف­ سنجی رامان حاکی از آن بود که فیلم ­های کربن شبه­ الماسی لایه­ نشانی شده بر سطح زیرلایه­ های پلی­ کربنات پس از عملیات اچینگ توسط گاز اکسیژن در برابر استون و هیدروکسید سدیم، پایداری شیمیایی بهتری داشته و کاهش شدت پیک ­های رامان کمتر شده است. %U http://www.surfacejournal.ir/article_35625_38fcc46d88c8d299ce06faa639e685c3.pdf